微机电系统在日本称微机械（micromachines），在欧洲称微系统技術（Micro Systems Technology，MST）。 比微机电系统更小，在纳米范围的类似技术称为纳机电系统（nanoelectromechanical systems，NEMS）。 微机电系统...

具有光學透明的性质，且在一般情況下，被認為具有惰性、無毒、不易燃的特性。 聚二甲基矽氧烷是最廣泛使用的矽為基礎的有機聚合物材料，其運用在生物微機電中的微流道系統、填縫劑、潤滑劑、隱形眼鏡。由于其表面张力小，能使被泡沫贮留的气体得以排除，临床可用于各种原因引起的胃肠道胀气及急性肺水肿的抢救，亦用胃镜检查。...

微机电系统传感器封装，总部位于杭州市。 1997年9月25日，陈向东与其他七位合伙人共同创立了士兰微电子。 2003年3月11日，士兰微电子在上海证券交易所首次公开募股，士兰微电子也成為中国第一家上市的集成电路设计公司。 士兰微...

奈机电系统（英語：Nanoelectromechanical systems，简称NEMS）与 微機電系統（MEMS）概念相似，不过尺度更小。他们承诺具有革命性的能力去测量小到分子尺度的位移和力，并且与纳米科技密切相关。 研究者视两种研究途径为标准的奈机电系统...

拾音器——将金属弦运动转化为交流电信号 电化学： pH计 含氧感知器 氢气感测器 机电学： 加速規 气流感测器 电活性聚合物 转子马达、线性马达 检流计 線性可變差動變壓器、旋轉可變差動變壓器 微机电系统 電位器 压力传感器 触觉传感器 电声音学： 扬声器耳机 麦克风 静电学 电热学 電磁爐 電暖爐 光电学 電燈 超聲波換能器...

微技术（英語：Micro-technology）包含了微機電感測和控制、驅動元件製程開發技術、微機電系統整合技術、射頻(RF MEMS)、光學（Optical MEMS）、生物醫學（Bio MEMS）、電腦與週邊（Computer Peripheral MEMS）微機電系統研究。 王伯雄等编著. 微纳米测量技术...

。RF通常被用來指電子振盪，而不被用在機械振盪上，然而機械射頻系統仍然是存在的（如機械濾波器與射頻微機電系統（英语：RF MEMS））。 雖然射頻在定義上是用來指一種頻率，但在日常使用中，常被用來當成無線電的同義詞，以利描述無線通訊系統，如射頻識別。 在國際電信聯盟定義的無線電頻率劃分當中： 甚低頻（VLF）：3~30千赫（kHz）...

81 m/s2。相比之下，處於自由下落狀態的加速規所測量的加速度為零。 加速規在工業、消費性產品和科學領域有許多用途。高靈敏度加速規用於飛機和導彈的慣性導航系統。在無人航空載具中，加速規有助於穩定飛行。微机电系统 (MEMS) 加速計用於手持式電子裝置，例如智慧型手機、相機和電動遊戲控制器，以偵測這些裝置的移動和方向。工業機械的震動...

英之／あらた ひでゆき Arata Hideyuki，1980年1月18日—）, 生於日本沖縄県那覇市，日本的工學家，專長於微机电系统，納米技術，生物物理学。東京大學工學部電気系畢業。工學博士（東京大學）。 是琉球國王尚眞的後裔。有具志坚用高（世界拳擊協會次次最輕量級（Jr. flyweight）的冠軍）表弟叔叔。...

机械电子学（英語：mechatronics），又稱機電整合學、機電工程學，机电一体化等，是一门利用微電子理論來控制機械裝置的學科，也是一门交叉学科，它的技术基础是来自机械制造和微電子控制，並配合电脑软件。 機電整合學著重以電子硬件、電腦程式或軟件，對機械進行控制，有別於以往機械工程專科較少觸及電子方...

Millipede是一种数据存储于聚合体层上的纳米量级“坑”中的非易失性存储器。这种存储器的读写由基于微机电系统的探针完成。这种存储技术允许每平方英寸上高于1TB的数据存储密度（1GB每平方厘米），是目前可用的磁介质存储设备的4倍。Millipede存储技术被追求作为硬盘驱动器中磁记录的潜在替代品...

後春筍般涌现。就某種程度而言，這預言已經開始實現。在汽車裏已裝配了高功能微機電系統，它能夠感測撞擊，從讀取的數據做決定，告訴安全氣囊是否應該開始膨脹。噴墨印表機倚靠微機電系統來達成高解析度印表任務。工程師希望研究出更先進的微機電科技，以製成極小的植入式醫療器材，或者改良光開關科技。...

會造成局部的膨脹，可能是因為熔化的焊料，或是被焊接的工件。當焊件冷卻後，有些部份可能會比其他部份冷卻的更快，就會造成殘餘應力。像半导体器件制造及微机电系统也可能會造成殘餘應力，不同熱力質特性和結晶特性的薄膜材料在不同的製程條件下沈積時，就可能會有殘餘應力。薄膜材料堆疊的應力變化非常複雜，可能有些層是壓縮應力，有些層就變成伸張應力。...

picoliter）的技術，有時又稱微型全分析系統（Micro Total Analysis Systems, µTAS）。典型製造法是使用微機電系統技術製出微小尺度的渠道，致動器，傳感器等。 更精確的實驗過程控制。 使用少量的檢測樣品及試劑，降低昂貴的試劑和樣品成本。 分析速度快。 平行處理大量的樣品。 微流體學 DNA微陣列 光流體學...

微加工、體型微加工等技術製造的。其中包括更改的矽加工方法如壓延、電鍍、濕蝕刻、乾蝕刻、電火花加工等等。 生產微機電系统的公司的大小各不相同。大的公司主要集中於為車輛、生物醫療或電子工業生產大批量的便宜的系统。成功的小公司則集中於生產創新的技術。所有這些公司都致力於研究開發。隨著傳感器的發展微機電系统的複雜性和效率不斷提高。...

境的追求目标，是微电子技术迅速发展的动力。 微电子学的参透性及其，它可以与其他学科结合而诞生出一系列新的交叉学科，例如它与机械、光学的结合导致了微机电系统（MEMS）的出现，他与生物科学结合诞生了生物芯片。MEMS和生物芯片都是近年来发展起来的具有极其广阔应用前景的新技术。...

学校之一。目前学校有100名高级讲师和教授，1150名教职工工作以及5000名学生。 材料科学欧洲硕士 材料科学 机械电子学 信息学和电子通信 过程工程 结构工程 环境工程 信息和媒体科技 国际生产管理 微电子和微机电系统 生物工程 电磁学, 光学和微波工程 全球创新管理 汉堡工业大学 学校图书馆...

“应力增强”氧化模型，工程应用方程和掺杂浓度与迁移率的关系，受国际同行重视。20世纪90年代后期，开始研究微机电系统（MEMS），获得一系列专利。领导研制成功中国首个大型集成化的ICCAD系统。创建中芯国际并担任董事长。 曾参与汉芯的鉴定工作，汉芯后被曝光为造假。 妻子是中国科学院院士杨芙清。 王阳元教授...

理化學研究所生物化學系統(生化学システム)研究室研究員 1999年4月 東京大學生產技術研究所附屬海中工學研究中心(海中工学研究センター)助理教授 2006年4月 東京大學生產技術研究所附屬微機電系統國際研究中心(マイクロメカトロニクス国際研究センター)助理教授 2007年2月 東京大學生產技術研究所附屬微機電系統國際研究中心教授...

这种结构物质的电阻值与铁磁性材料薄膜层的磁化方向有关，两层磁性材料磁化方向相反情况下的电阻值，明显大于磁化方向相同时的电阻值，电阻在很弱的外加磁场下具有很大的变化量。巨磁阻效应被成功地运用在硬碟生产上，具有重要的商业应用价值。 巨磁阻的主要应用是磁场传感器，可读取硬盘、生物传感器、微机电系统...

這些文件代表了以下技術領域對未來約15年的研究方向和時間表的最佳意見： 系統驅動程式/設計 測試設備 前段製程 流程集成，設備和結構 射頻和模擬/混合訊號技術 微機電系統 (MEMS) 光刻 IC互連 工廠整合 組裝與包裝 環境，安全與健康 可製造性設計 計量學 建模和模擬...

压电电场控制的二极管, 应变传感器, 力/流量传感器, 混合 场效应晶体管, 压电 逻辑门电路, 机电 存储器, 等等. 压电电子器件被认为是一个新的半导体器件种类。 压电电子学在传感器，人机交互技术，微机电系统，纳米机器人，以及有源柔性电子学等领域都可能具有重大的应用前景。...

然而，制造一个像肾脏一样可以在吸收水和盐的同时过滤血液、排泄毒素的薄膜，为研发佩戴式和/或植入式人工肾提供了可能。利用微机电系统（MEMS）技术研发薄膜是制作植入性生物人工肾的关键步骤。 克利夫兰医学中心勒纳研究所的生物微机电和肾纳米技术实验室致力于不断提高膜技术，旨在为末期肾病患者研发出植入性或佩戴式人工肾。现有的透析...

無線專用積體電路 電腦週邊專用積體電路（如硬盤與印表機） 汽車專用標準產品 非揮發性記憶體包括NOR與NAND快閃記憶體 智慧卡 類比與功率積體電路（IC） 單片機 分離式半導體產品 電子護照 2001年起意法半導體涉足於開發微機電系統，最初的硏究與開發於意法半導體在Castelle...

微机电系统（纳机电系统）中获得应用。 当一根针尖在平坦的表面滑行，并且所施加的载荷低于某一阈值时，也能实现超低摩擦状态。根据Tomlinson模型，该“超润滑”阈值与针尖-表面间的相互作用以及材料间的接触刚度密切相关。并且该阈值可以通过激发滑动系统的共振频率而显著降低，这揭示了一种可减少纳机电系统中磨损的方法。...

clock，縮寫为CSAC）是使用微机电系统（MEMS）技术制造的紧凑型低功耗原子钟，并结合了低功耗半导体激光器作为光源。基于2001年的一项发明，2003年在國家標準技術研究所上展示了第一个芯片級原子鐘物理软件包。这项工作是由美国国防部国防高级研究计划局（DARPA）资助的，目的是开发一种微...

國立臺灣大學應用力學研究所教授1999.09—迄今。 工研院副院長2016.12—迄今。 工研院代理院長2018.02.16—2018.04.15。 微機電系統、電磁機械系統、超導體力學。 2014年國立台灣大學優良教師 2004年中國工程師學會傑出工程教授獎 促「活大」列文資 台大生連署 下一個是誰？　台大、清大、交大共體時艱取消尾牙...

微波辐射计用于检测微波波段的电磁辐射。微波辐射计内充有氩气以使其旋转。 MEMS（Micro-electromechanical Systems，微機電系統）辐射计，由帕特里克·简柯维克（Patrick Jankowiak）发明，可以按尼克斯辐射计或克鲁克斯辐射计的原理运作，而且可以检测更宽的波段和粒子的能级。...

電晶體技術、先進記憶體、顯示、感測器、微機電系統元件、新穎量子與奈米級規模（英语：nanoscale）元件、粒子物理學現象、光電工程、功率與能量收集元件（英语：energy harvesting）、高速元件、製程技術、元件模型化與模擬。 會議也涵蓋矽、化合物、有機半導體與新興材料系統...

由于高分子材料加工的便捷性，电活性聚合物可以被轻松地被制造成各种形状并用作各种用途。电活性聚合物的一个潜在应用是在微机电系统（MEMS）中来制造智能执行器。作为最有前景的实际用途研究方向，电活性聚合物常被用于人造肌肉中。其与生物肌肉相似的高断裂韧性、大驱动应变和固有振动阻尼能力引起了在此领域的科学家的注意。...

等离子体蚀刻目前广泛应用于半导体材料的加工，用于电子器件的制造。可在半导体材料表面蚀刻出微小结构，以提高效率或增强在电子器件中的性能。例如，等离子体蚀刻可在硅表面刻出深沟槽，用于微机电系统，显示出在微电子生产中的潜力。 同样，目前也在研究如何将该工艺调整至纳米级别。 氢等离子体蚀刻在去除半导体表面的本征氧化物方面表现出色，能留下洁净且化学平衡的表面，适用于多种应用。...