Unter Mehrfachstrukturierung (englisch multiple patterning) werden in der Halbleitertechnik verschiedene Strukturierungsverfahren für die Herstellung sehr...
32 KB (3,445 words) - 21:27, 30 November 2023
Spitzenprodukten bald an ihre praktischen Grenzen stoßen. Diese liegt dank Mehrfachstrukturierung für die 193-nm-Immersionslithografie vermutlich noch nicht bei der...
43 KB (4,934 words) - 06:29, 15 May 2024
isotropen Trockenätzprozess (engl. resist shrink) und zunehmend auch Mehrfachstrukturierungen zum Einsatz. Auch der bereits erwähnte Zwischenschritt ist ein...
51 KB (5,570 words) - 09:58, 14 March 2024
nigrische Taekwondoin LELE steht für: Litho etch, litho etch, siehe Mehrfachstrukturierung #Doppelbelichtung und Doppelätzung Siehe auch: Lehle Lelle...
1 KB (125 words) - 16:55, 29 July 2022
(in Entwicklung, ab ca. 2025) Weiterhin kann zum Einsatz kommen: Mehrfachstrukturierung Albert Lauchner: Intels Pentium 4 Prescott im Detail. In: COMPUTERWOCHE...
43 KB (3,787 words) - 16:04, 20 May 2024
Spezialtechniken, wie der Immersionslithografie, Schrägbeleuchtung oder Mehrfachstrukturierung. Diese Entwicklungen führten dazu, dass 2019 Produkte in der sogenannten...
12 KB (1,247 words) - 11:08, 2 September 2021
die Herstellung von Strukturen von 28 nm Breite (mit einfachen Mehrfachstrukturierungs-Techniken, mit komplexeren sogar bis zum 10 nm) und bildet damit...
9 KB (920 words) - 20:17, 21 December 2023
verwendete. Mithilfe von aufwendigen und damit teuren Konzepten wie der Mehrfachstrukturierung konnte die Nutzung der ArF-Immersionslithografie bis hin zum 10-...
14 KB (1,479 words) - 14:50, 16 December 2023
(Wellenlänge: 193 nm) und weiteren Feinheiten wie Schrägbeleuchtung oder Mehrfachstrukturierung konnte die erwartete Grenze der Lithografie mehrfach zu immer kleineren...
27 KB (3,108 words) - 20:48, 3 October 2023
beispielsweise bei SRAM-Blöcken, die Gate-Struktur oder Abstände bei der Mehrfachstrukturierung. In der industriellen Produktion erfolgt die Messung und Auswertung...
11 KB (1,262 words) - 19:57, 4 May 2022
Double Exposure steht für: Mehrfachstrukturierung, Verfahren zur Verbesserung der Auflösung in der Halbleitertechnik Double Exposure (1944), US-amerikanischer...
750 bytes (81 words) - 20:21, 20 October 2023
proximity correction, Phasenmasken (englisch phase-shifting mask) und Mehrfachstrukturierung (englisch double patterning). Bei der fotolithografischen Strukturierung...
14 KB (1,510 words) - 22:34, 21 November 2022
numerischen Apertur des Systems – weitere sind beispielsweise die Mehrfachstrukturierungen –, denn die Fähigkeit eines optischen Systems, Strukturen abzubilden...
39 KB (4,382 words) - 08:32, 1 December 2022