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スパッタ
スパッタ
スパッタ(sputter) - 金属表面に高エネルギー粒子を当てると金属表面から
原子
が飛び出すこと。
スパッタリング
を参照。
真空
中に
アルゴン
(Ar)などの
ガス
を低圧力で導入して
グロー放電
させ、
プラズマ
を発生させて、このプラズマのターゲットへの衝突で原子を
蒸発
させ
ガラス
基板などに成膜する技術。
スパッタ(spatter) - ガス
溶接
、
アーク溶接
時に飛散する微
粒子
。粒径は、約1μm〜数mm。塗装欠陥などの原因になり品質に悪影響を与える。
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